工业工程
基于分配结算函数的晶圆投放仿真优化方法
于一豪, 张正敏, 管在林
A Wafer Release Planning Simulation Optimization Method Based on Allocated Clearing Functions
YU Yihao, ZHANG Zhengmin, GUAN Zailin
工业工程 . 2023, (3): 134 -142 .  DOI: 10.3969/j.issn.1007-7375.2023.03.015